產品中心
Product Center
滿量程0.5 SCCM - 10000 SLPM，優于1 %的精度，量程可控
ALICAT 21系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速準確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的PID調校，可達到優于100 ms的控制速度，并保持優秀的穩定性，并有超低壓損產品可供您選擇。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環境監測
● 真空行業及鍍膜 ● 工業爐窯
● 半 導 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優于0.5%讀數
● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優于30 ms
● 內置98種氣體
● 可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
滿量程為0.5 SCCM -10000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從清零溫度開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀數/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀數/ Atm（從校準壓力開始）
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，用戶可現場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM
量程可控比（穩態） 0.01～100%滿量程（R和RH閥門為0.2-100%滿量程）
顯 示 屏 標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角
±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（量程5CCM和50-500SLPM可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數的額外誤差
重 復 性 ±（0.2% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）
控制響應時間(T63) ＜100ms（與流量相關，用戶可調）
顯示響應時間 ＜10ms（與流量相關）
預熱時間 ＜1s
工作溫度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 11.5-160PSIA
壓力精度 ±0.5%讀數（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
耐 壓 200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
供電電壓 12-24 VDC （與量程相關，詳情咨詢）
供電電流 250 mA，0.5A，1 A，2 A（與量程相關，詳情咨詢）
額外加 40 mA（4 - 20 mA或0-10Vdc輸出）
電氣接口 DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 主體材質：302,303,304,316LSS；
P和PCV閥門材質：430FRSS和黃銅；
R閥門材質：410SS，Nylon和Derlin；
密封材質FKM；
傳感器材質請咨詢工廠
過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規格參考壓損表；其他接口形式請咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求。
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數量和孔深與量程相關，具體請咨詢
防護等級 IP40（IP66可選）
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）
標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調節PID算法
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
另一種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制
滿量程標準型質量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 默認閥門配置 | 外形尺寸 | 過程接口 | 重量
|
0.5 sccm | 1.0 | 3.90''H ×3.34''W ×1.05''D | M5內螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭） | |
1-5sccm | 2.0 | 1.1lb（約0.5kg） | ||
10sccm | 2.8 | |||
20-50sccm | 1.0 | |||
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.07''H ×3.59''W ×1.05''D | 1/8''NPT內螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 slpm | 1.5 | |||
2 slpm | 3.0 | |||
5 slpm | 2.0 | |||
10 slpm | 5.5 | |||
20 slpm | 12.0 | |||
50 slpm（配置P閥門） | 5.0 | 4.37''H ×5.41''W ×1.60''D | 1/4''NPT內螺紋 | 3.1lb（約1.4kg） |
100 slpm（配置P閥門） | 15.5 | |||
250 slpm（配置R閥門） | 2.4 | 5.50''H ×7.65''W ×2.25''D | 1/2''NPT內螺紋 | 9.1lb（約4.1kg） |
500 slpm | 6.5 | 5.50''H ×7.28''W ×2.25''D | 3/4''NPT內螺紋
| 9.1lb（約4.1kg） |
1000 slpm | 14.0 | |||
2000 slpm | 28.6 | 5.50''H ×8.10''W ×2.90''D | 12lb（約5.4kg） | |
3000 slpm | 16.8 | 5.50''H ×8.90''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT內螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
5000 slpm | 14.1 | 6.27''H ×9.80''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
10000 slpm | 12.0 | 6.34''H ×9.66''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內螺紋 | 23lb（約10.4kg） |
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